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TCL中环获得实用新型专利授权: "一种单晶炉供气装置"

企查查数据显示,TCL中环新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种单晶炉供气装置”,专利申请号为CN202322394849.9,授权日为2024年5月14日。

专利摘要显示,本申请公开了一种单晶炉供气装置,单晶炉具有进气口,系统包括:第一管路,设有第一阀门;第二管路,设有第二阀门;输气总管,按照进气顺序设有总阀门和泄压阀;供气总管连通单晶炉的进气口,其中总阀门分别连通第一阀门和第二阀门,泄压阀连通供气总管。本申请可通过第一管路和第二管路分别输入气体,混气后汇流至输气总管,经过总阀门和泄压阀后通入单晶炉。本申请实施例提供的单晶炉供气装置能够提供不止一种气体,且能够便捷地切换各供气管路。

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