1. ADS 602H真空泵示意图
2.操作手柄
①监控界面介绍
770H→真空泵运行时间用于泵维护时的时间记录;
REM→真空泵在远程监控，如显示LOC，表示本地控制状态;
ADP POWER→ADP泵功率;
PRESSURE→排气口附近气压;
ADP TEMP→ADP泵温度;
N2 FLOW→N2流量;
②功能菜单介绍
SET参数设置键按该键可以进入参数设置菜单或者退出各菜单;
“+/-”键选择键按该键可移动到前一个或后一菜单，也可以调整参数的数值;
ENTER设置确认键按该键可以对选择的菜单,设置.参数进行确认;
3.真空泵硬件介绍
①信号灯及急停按钮
绿灯表示正常运转;
黄灯表示警告状态，机器仍可继续运转;
红灯表示警报错误状态，机器不能运转;
②真空泵的接口
a.急停(EMO)短接头及J14远程控制接口
b. J6与J7为RS232与RS485通讯接口，通过它们可以与PC建立通讯连接;
③主电源线
主电源线接头的1，2，3号接线端子分别接三根相线，6号端子接地，当真空泵出现反转时，调换1，2，3号端子中的任何两个端子的接线即可。
④冷却水及N2压力表
a.流量计背后为水流量传感器，冷却水流量需要达到80L/H;
b.冷却压力要求：
提供的冷却水压力需要达到3 bar – 7 bar(绝对压力)。同时确保进水口和出水口，压差至少在2 bar以上，冷却水温度为10 – 25 ℃。
水流量计，可在开机时调节水流量，此泵也配置了流量开关，一旦水流量低于15 l/h，泵会自动报警。
c. N2压力要求：
泵的N2压力也需要达到3 bar – 7 bar(绝对压力)，而每台泵都配置了压力表，调节阀以及氮气质量流量计，可根据工艺来调节N2的实际流量。
d.水管及N2接口
c.冷却水电磁阀
当ADP泵温度高于设定温度时阀门打开，ADP设置温度一般为100摄氏度;
当ADP泵温度下降到低于ADP设置温度值两摄氏度时阀门关闭;
⑥真空泵氮气吹扫系统
a. N2吹扫管路示意图
b. N2流量计及N2管道
作用：检测吹扫真空泵的氮气的流量，单位L/MIN;
银白色不锈钢管为氮气吹扫管道，总管又分出六路支管道通入机械泵内，对泵进行吹扫，防止反应气体形成SiN，导致泵卡死。
⑦真空泵润滑系统
a.泵油加注位置示意图
此泵有三处加油孔，其中罗茨泵有两处，ADP泵有一处;
当泵油泛黄甚至变黑时需更换新的真空泵油;
该泵使用的泵油为Alcatel A113合成油正常情况下，泵油一年换一次;
b.正常油位示意图，换油时，油位加到观察孔的一半高度;
b.变压器
⑨控制系统
a. Alcatel干泵M4电控箱中各传感器的连接位置
上图为真空泵输入信号线与输出控制线的接口，通过这些接线端子控制单元对泵体进行监测与控制;
4.控制系统主要选项设定
①真空泵设置菜单主要有：
DEFINITION→选项设定
SETING→参数设置
MAINTENANCE→维护保养
MANAGEMENT→管理
OPERATING →TIME
LAST WARNING→警告记录
LAST ALARM→警报记录
②基本选项设定
按SET” —“DEFINITION MENU” —“ENTER”键
LANGUAGE (语言选择)：ENGLISH
SYSTEM SELECT(系统选择)：ADS 602
AUTO START(自动启动)：DISABLED(禁用、不激活)
ROOTS CMD(罗茨泵单独启动命令)：DISABLED，此设定表示在启动ADP泵的时候自动启动罗茨泵;
PURGE CMD(气体吹扫单独启动命令)：DISABLED，此设定表示真空泵在运行时进行不间断吹扫;
N2 STANDBY(2)(N2待机)：DISABLED(不激活);
③主要参数设定
按“SET”— “SETTING” —“ENTER”键
PURGE WARNING(only with MFS)吹扫报警：35slm;
ADP TEMPERATURE(ADP泵温度);
INPUT VALUE(输入值)：100℃;
ALARM THRESHOULD :120℃;
ADP POWER SENSOR(ADP泵功率检测);
WARNING threshold :3500W;
ALARM threshold: 5000W;
5. Alcatel干泵的常见故障排除
① ADP功率报警可能原因：
电机转向不正确;
瓦特计(功率计)W1故障;
电控箱M4故障;
功率报警值设置不正确;
干泵机械故障;
排气管堵塞;
②冷却水报警可能原因：
冷却水供给不够;
冷却电磁阀故障;
冷却水漏水;
电控箱M4故障;
水流量报警值设置不正确;
冷却水管堵塞或泄漏;
水流量开关故障;
③氮气流量报警可能原因：
氮气供给不足;
氮气阀故障;
氮气报警值设置不正确;
氮气管道有泄漏;
氮气质量流量计故障或未连接;
电控箱M4故障;
④真空泵温度过高(低)报警可能原因：
温度控制电磁阀故障;
温度控制电磁阀接线未连接或接线故障;
冷却水流量不足;
电控箱M4故障;
ADP Temp.传感器故障;
ADP Temp.传感器未连接;
原标题：光伏技术| PECVD ADS真空泵维修
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