2021年12月14日,国家电投黄河公司新能源分公司还原分场一线电子级多晶硅生产还原车间,2号还原炉的小“望窗”内,炉火正旺,9对多晶硅棒正在生成,已见雏形。
透过炉外“望窗”,记者看到了这一现代科技的壮观景象。生产车间工段长俞朝介绍说:还原炉内温度一般为1050℃,从投料到硅棒出炉需要125个小时,这个车间每炉产量可达1吨。旁边1号还原炉,两名“全副武装”的工作人员正在清理炉子,为下一炉多晶硅生成和出炉紧张有序地准备着。
不久前,国家电投黄河公司新能源分公司“电子级多晶硅成套制备技术的研发及产业化”项目获得了青海省科学技术进步奖一等奖荣誉。在集成电路行业高速发展和实现国产替代的大背景下,持续向好的成绩让企业突破壁垒、抢抓机遇的前进步伐增添了不少信心。
从引进国内外设备和先进技术到企业开始自主研发,再到年产值上千万元,如今这家企业已经成长为细分领域的行业“小巨人”,其生产的电子级多晶硅纯度已经达到99.999999999%,经过一系列严格的产品测试和客户验证后,可以用于极大规模集成电路用12英寸单晶制造,企业用实力书写了自己的奇迹。然而,成功绝非偶然。
创新、精益求精是国家电投黄河公司新能源分公司14年来稳步成长的内核诠释。
实现极大规模集成电路用高纯电子级多晶硅国产化的历程有多艰辛,中间的路有多远,要跨越多少技术关卡,多晶硅企业是如何突破长期被国外垄断的电子级多晶硅生产核心技术,国家电投黄河公司新能源分公司给出了答案。
“电子级多晶硅是一种高纯的硅材料,因其纯度要求达到11N以上,因此要比光伏级多晶硅纯度至少提高2-3个数量级,两者之间存在显著的品质差异。突破电子级多晶硅核心技术,关键还是技术创新,优化改进生产技术和质量控制技术,在产品生产制造、装置稳定运行等各环节的过程控制上做到精益求精,并通过成百上千次的科学实验,才能生产出合格、适销对路的电子级多晶硅产品,实现电子级多晶硅国产化的战略目标。”国家电投黄河公司新能源分公司质量保证部主任李海霞告诉记者。
记者了解到,电子级多晶硅产品需要得到下游厂家的认可,而下游用户看中的是产品质量的稳定性,这对企业来说,本身就是很大的挑战。
李海霞说,企业目前已拥有了副产物四氯化硅高效循环利用技术、三氯氢硅气体分离提纯技术、高纯多晶硅制备和质量控制技术等一系列核心自主技术,实现了微电子单晶用多晶硅产品的规模化生产。
在国家电投黄河公司新能源分公司的检测中心——青海芯测科技有限公司,记者和技术员进入作业区之前,需要经过换装、除尘等程序,通过多道风淋门才能进入不同等级的无尘室。
“事关产品品质,生产高纯度多晶硅材料,对环境的要求极其苛刻。环境越洁净,测试出来的电子产品能达到的精密度也就越高。”青海芯测科技有限公司检测中心主任薛心禄说。
这背后,是国家电投黄河公司高额的投入,特别是先进设备的投入。在这个面积1543平方米的检测中心,配备了区熔单晶炉(FZ-100),低温红外光谱仪,气相色谱质谱联用仪,少数载流子寿命测试仪等设备50多台(套),80%为国外先进设备,核心检测设备属国内首台,设备总投资达4000多万元。
一分耕耘,一分收获,国家电投黄河公司已经成功突破电子级多晶硅生产核心技术,彻底打破国外市场垄断,保障了我国集成电路硅材料产业的战略安全,是国内唯一一家批量生产并销售集成电路用电子级多晶硅的企业,产品质量达到国际先进水平。目前国内市场占有率达20%,累计申请专利41件,其中获得发明专利授权5件,受理发明专利6件,主持/参编国家、行业及团体标准16部,在国内同行业中处于领先地位。
作为青海制造的参与者,李海霞认为用品质锻造的品牌,终会得到市场的认可。她言辞坚定:“我们要做电子级多晶硅硅材料领域的佼佼者,这个目标从未改变!为此,我们要加快以创新技术实现产品领先,让‘青海制造’从国内走向国际,让青海的品牌更响亮,让更多人通过品牌更加了解青海。”