王惠 赵爱爽 赵江雷 张珂 靳迎松 麻增智译(晶澳太阳能有限公司 河北省邢台市 055550)摘要: 原子沉积的Al2O3膜可以应用为背钝化电介质层,来制作PERC钝化发射极的晶体硅太阳能电池。存在负电荷Al2O3的低电阻率P型硅通过良好的背钝化,转换效率已经达到 20.6%。其中最优工艺是30nm的Al2O3薄膜上覆盖着200...