一文通PECVD工序工艺
PECVD目的在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜,以增加入射在硅片上的光的透射,减少反射,氢原子搀杂在氮化硅中附加了氢的钝化作用。镀膜原理光照射在硅片表面时,反射会使光损失约三分之一。如果在硅表面有一层或多层合适的薄膜,利用薄膜干涉原理,可以使光的反射大为减少,这种膜称为太阳电池的减反射膜(A...
PECVD目的在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜,以增加入射在硅片上的光的透射,减少反射,氢原子搀杂在氮化硅中附加了氢的钝化作用。镀膜原理光照射在硅片表面时,反射会使光损失约三分之一。如果在硅表面有一层或多层合适的薄膜,利用薄膜干涉原理,可以使光的反射大为减少,这种膜称为太阳电池的减反射膜(A...
摘要: 以Al2O3/SixNy为钝化层,制备了PERC单晶硅太阳电池,研究Al2O3钝化层厚度对钝化效果的影响,分析硅片少子寿命变化、烧结曲线对PERC电池电性能参数的影响。0 引言为了进一步优化其生产工艺、提高晶体硅电池片效率、降低生产成本,此前已有诸多研究,20世纪80年代,澳大利亚新南威尔士大学光伏实验室提...
摘要: 研究了在真空与氮气两种环境中不同的退火温度和退火时间对氮化膜薄膜性能影响,测试了退火后氮化硅薄膜的膜厚、折射率、少子寿命以及电性能参数。结果表明,多晶硅管式PECVD真空退火环境优于氮气,并确定当退火温度在450℃、退火时间20min时,工艺参数最佳。当温度过高过低均不利于膜厚的增加也不...
摘要: 随着晶体硅太阳电池技术的不断发展,硅片的厚度不断降低,电池表面钝化对提高太阳能电池转化效率变得尤为重要。本文介绍了表面钝化膜在晶体硅太阳电池中的应用,以及几种晶体硅电池表面钝化方法,包括等离子体增强化学气相沉积法、氢化非晶硅、热氧化法、原子层沉积法以及叠层钝化,并分别介绍了它...
摘要: 利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法沉积给定折射率的氮化硅薄膜,通过正交实验法对衬底温度、NH3流量和射频功率3个对氮化硅薄膜沉积速率影响较大的工艺参数进行全局优化和调整,得到了氮化硅镀膜的最优工艺参数。等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的氮化硅薄膜作为理想的减反射膜,具有很好的...
针对金刚线直接添加剂法制备的金刚线多晶硅片绒面、反射率及减重与常规砂浆线多晶硅片的制绒差异,本文分析了其对扩散、PECVD和丝网印刷等工艺造成的影响,并就如何匹配各道工艺进行了总结,从而获得高效金刚线多晶电池。金刚线直接添加剂法虽然可以部分解决金刚线多晶硅片由于表面损伤层浅导致的常规酸...
PECVD( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子增强化学气相沉积,等离子体是物质分子热运动加剧,相互间的碰撞会导致气体分子产生电离,物质就会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子和中性粒子组成的混合物。据测算,光在硅表面的反射损失率高达35%左右,减反膜可以极高地提高电池片对太...
前言: 价值何在?硅基叠层电池技术一直都是量产商用电池实现30%甚至35%超高光电转换效率的最重要的方向之一(如果不是唯一方向的话)。理论上讲带宽匹配、叠层界面匹配都没什么毛病;经济上讲晶体硅衬底没有敌手。在之前的7月份,兔子介绍过钙钛矿/晶硅叠层电池技术方向的最新进展,也就是斯坦福和亚利桑...
在光伏系统设计时,通常使用光伏组件的标称功率即STC测试条件下得到的功率测试结果来预测组件在户外的实际发电效能。然而,STC测试条件下使用太阳光模拟器得到的功率测试结果只考虑了很窄的入射角度窗口范围。如下图1所示,在大的入射角度下,由于光程的增加会造成反射增强进而降低发电量,因此,为了更为...
科学家们研发出了具有高功率转换效率的半透明钙钛矿太阳能电池,而且该电池还可以在传播可见光的时候隔离红外线,这无疑让未来设想中的太阳能窗户离我们更近一步。出于艺术效果和成本考虑,现代建筑学家们都喜欢用玻璃来修建建筑外部。而科学家们则更进一步,希望能够借此机会获得太阳能。已经有科学家开...
科学家们研发出了具有高功率转换效率的半透明钙钛矿太阳能电池,而且该电池还可以在传播可见光的时候隔离红外线,这无疑让未来设想中的太阳能窗户离我们更近一步。出于艺术效果和成本考虑,现代建筑学家们都喜欢用玻璃来修建建筑外部。而科学家们则更进一步,希望能够借此机会获得太阳能。已经有科学家开...
1.晶体硅电池效率损失机制太阳能电池转换效率受到光吸收利用、载流子输运、载流子收集的限制。对于晶体硅电池而言,其转换效率的理论最高值是28%。影响晶体硅电池转换效率的原因主要来自两个方面,如图1所示: (1)光学损失,包括电池前表面反射损失、正面电极的遮光损失以及长波段的非吸收透射损失。(2)...
光伏产业作为我国战略性新兴产业,其发展一直牵动着社会的方方面面。2009年,我国相关部门出台了实行初始投资补贴的相关政策,支持项目补贴力度高达初始投资的50%,总投资额过百亿。2013年,在这种激励政策完成了其拉动国内光伏市场快速发展的阶段性历史使命的同时,也为刚开始蹒跚学步的中国光伏产业引入...
赵朋松,李吉,麻增智,王尚鑫,张进臣,靳迎松,严金梅 译(晶澳太阳能有限公司 ,河北 邢台 055550)摘要: 获得最优化的绒面是提高多晶硅太阳能电池转换效率的关键。本研究采用等离子体浸没离子注入法成功制备出具有不同绒面结构的多晶黑硅。利用原子力显微镜(AFM)、分光光度计和量子效率测试仪分别对黑硅的...
冯志强: 各位专家,大家好,其实刚才说的是光伏组建的内容,我们研发跟这个很接近很像。提升光伏系统总的来讲有三个方向: 高效,智能性,智能化。我的报告简单从三个方面,来跟大家分享一下,高效,高效性,智能化安装。高效,我们电池是最核心的,这个PPT实际上刚才多位专家已经提到,各种不同类型的最高值,我就...
为了提高晶体硅太阳能电池的效率,通常需要减少太阳电池正表面的反射,还需要对晶体硅表面进行钝化处理,以降低表面缺陷对于少数载流子的复合作用。硅的折射率为3.8,如果直接将光滑的硅表面放置在折射率为1.0的空气中,其对光的反射率可达到30%左右。人们使用表面的织构化降低了一部分反射,但是还是很难...
网友提问: 最近领导让调试膜厚84折射率2.08的PE工艺,试过几次但效率都不是很好,不知道各位坛友有没有什么好的建议,调试方法的、气量配比的什么的都行,希望大家多多支持,谢谢大家!网友解答: 膜厚折射率主要还是匹配扩散跟制绒吧。算下光程2.08*84*4=698。看下成品的光谱吸收率在多少是峰值。然后下去...
太阳能背板/膜资料总结一、功能背板(Backsheet)是用在太阳能组件背面,直接与外环境大面积接触的光伏封装材料,其应具备卓越的耐长期老化(湿热、干热、紫外)、耐电气绝缘、水蒸气阻隔等性能。因此,背膜要在耐老化、耐绝缘、耐水气等方面满足太阳电池组件25年的环境考验,起到封装组件原辅料、保护太阳能...
大面积多功能高效减反射膜技术近年来受到广泛关注。中国科学院宁波材料技术与工程研究所光伏技术研究团队前期开发的光伏玻璃第一代多孔氧化硅和第二代双层氧化物减反射膜技术[J. Appl. Phys. 112, 093517 (2012); Sol. Energy 89, 134 (2013);CN201010150748, CN200910098519]已经实现了产业化应用。...
10月31日电 所有的家庭灯具和路灯 白天吸收 足够的太阳能, 夜间可以自行发光;街道上一辆辆的太阳能电车风驰电掣 ; 太阳能建筑鳞次栉比 可 实现电力自给……这样的画面不久的将来或许能够变成现实。这都是因为我们掌握了“光伏发电”这一技术。何谓“光伏发电”技...