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磷扩散时硅片底部方阻老是偏高是怎么回事?谁知道?

网友提问:硅片扩散后,靠近石英舟的硅片底部老是方块电阻高于其它地方,求解决的方法。测试时采用的是semilab wt2000 pvn进行面扫描.

网友解答:加大POCL3/O2流量,均匀度会上升

原帖地址:http://www.solarzoom.com/thread-297059-1-1.html

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