TOPCon(左) VS HJT(右)
1.HJT电池技术：
1990年，日本三洋公司首次开发出异质结太阳能电池，当时HJT电池转换效率为14.5%，经过三十年的发展，目前HJT量产效率已经超过24%。常规的太阳电池的p-n结都是由导电类型相反的同一种材料——晶体硅组成的，属于同质结电池。
而异质结(heterojunction，HJT)电池由两种不同的半导体材料晶体硅和非晶硅组成的p-n结，因此称为异质结电池。异质结一般以n型单晶硅片为衬底，在经过清洗制绒的N型单晶硅正面依次沉积厚度为5-10 nm的的本征a-Si:H薄膜、p型a-Si:H薄膜，在背面依次沉积厚度为5-10 nm的i-a-Si:H薄膜、n型a-Si:H薄膜形成背表面场，在掺杂a-Si:H薄膜的两侧，再沉积透明导电氧化物薄膜(TCO)，最后通过丝网印刷技术在两侧的顶层形成金属集电极，构成具有对称结构的HJT电池。HJT技术通过在p-n结之间插入本征非晶硅作为缓冲层，对晶体硅表面起到良好的钝化作用，很好地解决了常规电池掺杂层和衬底接触区域的高度
载流子复合损失问题，实现较高的少子寿命和开路电压。HJT独特结构使其具备工艺结构简单、工艺温度低、效率高、无电致诱导衰减等优点，电池理论效率可达到27.5%，是N型电池的代表性技术之一。
2.TOPCon电池技术：
2013年，德国Fraunhofer研究所首次提出了TOPCon的电池结构，TOPCon是隧穿氧化层钝化接触(Tunnel Oxide Passivated Contact)的简称，其电池结构为N型硅衬底电池，在PERC (PERT)电池制备工艺的基础上，在电池背面制备一层超薄二氧化硅，然后再沉积一层掺杂硅薄层，二者共同形成了钝化接触结构，有效降低表面复合和金属接触复合，在钝化界面的同时起到吸收载流子的作用，可以极大地提升太阳能电池的效率，量产效率较PERC高1%左右，最高理论效率为28.7%，为电池转换效率进一步提升提供了更大的空间。
TOPCon技术与HJT技术相比的最大优势在于其与PERC电池产线的良好兼容性，HJT电池由于其特殊的电池结构，产线需要使用全新的设备。而TOPCon与PERC相比主要变动及新增三个环节设备：硼扩散，隧穿氧化和非晶硅(LPCVD或PECVD)，去绕镀清洗。其中隧穿氧化和非晶硅镀膜为TOPCon工艺的关键环节，LPCVD为关键设备，2018年以前TOPcon设备以德国的Tempress和韩国PV-tech设备为主，随着国产化设备的逐渐成熟，目前国内企业拉普拉斯(连城参股公司)、北方华创、捷佳创等均能够提供相应生产设备，极大降低了TOPCon电池的成本。目前行业内PERC电池产能在250GW以上，部分较新的产线都预留有TOPCon电池的升级空间，预计未来2-3年，将出现TOPCon与HJT两种技术路线共同发展的局面。
(各类电池工艺步骤)
来自：首创证券
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