经过一系列严格的验证、检测，5月初，江苏鑫华半导体材料科技有限公司集成电路用高纯度硅料小批量出口韩国，并已向国内部分晶圆加工厂批量供货。这标志着鑫华半导体集成电路用硅料已经达到国际一流质量标准。这也是我国多晶硅制造企业首次向国际市场出口集成电路用高纯度硅料。
2015年12月，国家集成电路产业投资基金大基金联手保利协鑫共同投资成立江苏鑫华半导体材料科技有限公司，打造国内首条5000吨半导体集成电路专用电子级多晶硅生产线。2017年11月8日，协鑫旗下鑫华半导体正式发布电子级多晶硅产品。鑫华电子级多晶硅的自主生产，标志着我国电子级多晶硅突破海外多年技术封锁，填补国家集成电路产业专项一项空白。
集成电路用高纯硅料项目是工业和信息化部强基工程中标项目、科技部02专项子项目，自去年电子级多晶硅产品面世以来，为了尽快推向市场，鑫华半导体与国内晶圆加工厂广泛接触，开展新产品测试，晶圆厂家测试后，再向下游的芯片厂家提出新产品测试。一层层测试下来，从众多手机厂家反馈回来的信息，没有想到国内多晶硅厂家能够生产出等级这么高的产品，完全达到国际一流电子级多晶硅各项指标。
江苏鑫华半导体材料科技有限公司总经理田新告诉记者，就电子级多晶硅而言，这是鑫华半导体研发团队历经317次电子级多晶硅生产试验一年多时间，对629项技术、设备优化改进，以70%的国产设备，系统性解决了杂质释放问题，实现了原料端彻底祛除和控制杂质，并且全球首创采用自动化无接触硅料处理系统。目前，公司正在就相关技术和工艺申请国家专利。在5月份实现对韩国出口高纯度硅料后，鑫华半导体公司最近还要向我国台湾地区的晶圆厂家批量供应集成电路用硅料。
现在，鑫华半导体公司第一条生产线的产能为5000吨，产品向国内国际市场铺开后，可保证国内企业三至五年内电子级多晶硅不会缺货。未来两三年内，还将计划再上一条5000吨生产线，以更好地满足国际国内市场。
来源：徐州日报
记者/王正喜
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