2014-05-09 17:08
光伏工业中，在工艺链末端所进行的激光边缘隔离(LEI)已是一项完善的技术。但是，由于不同电池制造商所生产的电池性能各个不同，工业中尚未确立一套系统的方法来检验绝缘沟槽的效率。因此，有必要建立一种通用的方法来分析硅太阳能电池的LEI工艺。除了要考虑来自材料和激光参数方面的因素外，还必须考虑大气边界条件。本文在实验结果基础上，介绍了一种特定类型的多晶硅太阳能电池的剥离工艺及其最适用的激光及大气参数。当今光伏工业中，激光技术可被用于边缘隔离和硅太阳能电池的切割与标记上。在边缘隔离工艺中，为确保pn结的绝缘性，需要将n+型掺杂表面层去除掉。采用不同激光源的激光边缘隔离(LEI)工艺可应用于多晶硅太阳能电池的制作工艺中。为了提升硅太阳能电池的效率，需要提升分流电阻并需要避免发生在辐照区域的损伤。前人已研究了LEI工艺中波长λ、脉冲宽度tp及激光能量Hp等激光参数的设置对工艺的影响[1-6]，所使用的波长范围从近红外(NIR)到紫外(UV),脉冲宽度从几个皮秒到几百个纳秒。激光辐照中，损伤会发生在热效应区域[7,8]，并导致电池效率的下降…
（技术翻译：Melody Hu，校审：张世斌博士）
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