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比太科技申请用于提高异质结电池N面场钝化效应的线性连续镀膜专利,利用电磁场加快镀膜速率

国家知识产权局信息显示,常州比太科技有限公司申请一项名为“用于提高异质结电池N面场钝化效应的线性连续镀膜方法”的专利,公开号CN 119491211 A,申请日期为2024年11月。

专利摘要显示,本发明涉及SHJ电池微晶镀膜技术领域,具体涉及一种用于提高异质结电池N面场钝化效应的线性连续镀膜方法,包括如下步骤:步骤S1,将PECVD腔体的温度预设至200‑260℃,将N型单晶硅片送入PECVD腔体;步骤S2,将HPT电源和钝化电源内的一对独立电源的相位角设置成0°‑180°;步骤S3,启动第一HPT电源;步骤S4,启动第一钝化电源,在N型单晶硅片的表面得到N1层;随后重复依次得到N2层、N3层;步骤S9,将N层钝化的N型单晶硅片送出PECVD腔体;本发明利用带有0°‑180°相位角的电源形成电磁场,在控制沉积区域的同时也加快了镀膜速率,同时由于沉积区域受电磁场所控制,因此实现了N层梯度掺杂在单腔内实现的效果。

天眼查资料显示,常州比太科技有限公司,成立于2011年,位于常州市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本834.0255万美元,实缴资本175.9954万美元。通过天眼查大数据分析,常州比太科技有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目2次,知识产权方面有商标信息8条,专利信息138条,此外企业还拥有行政许可4个。

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