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这对TOPCon电池来说很重要

TOPCon电池扩散工艺过程中污染来源分析

贾锐中国科学院微电子研究所

文章最后总结,

1、硼扩散的高温过程,由于时间长、温度高;整个扩散过程对外界污染很敏感(扩散过程控制比磷扩散难度高);

2、当有污染出现时,需要对整个工艺腔室、设备部件进行更换和严格清洗。

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