改良西门子法生产多晶硅注意事项

1、制H（H2O=H2+O2）

电解得到氢和氧，冷却分离再除氧；干燥以后到贮藏，得到纯氢去三方，

氧冷分离去氧仓，最后氧气是瓶装。

2、HCL合成（H2+CL2=HCL）

两股氢气去混仓，然后引至燃烧枪；氯气也到燃烧枪，合成炉设防爆墙；

反应生成氯化氢，空冷降温送下场。为了安全有保障，吸收处理不能忘，

盐酸循环吃气相，酸碱中和除氯忙。

3、SIHCL3合成（SI+HCL=SIHCL3+SICL4+SIH2CL2 +H2+X）

硅粉来自硅粉仓，脱水HC去炉旁，二者炉内起反应，三氯氢硅藏中央。

5种附品也跟上，处理起来人心伤。干法除尘先上场，湿法紧跟来邦忙，

增湿洗涤加反应，最终硅尘全消亡。有种附品很重要，四氯化硅送贮藏；

废硅粉该去哪里？送出厂外去埋藏。清洁后的合成气，干法分离下一场。

这个工序想多讲，牢记里面有吊装，固体输送要通畅，安装维修有地方。

4、合成/尾气干法分离（氯硅烷+H2+HCL）

干法分离是分相，分出三类派用场；液氯硅烷打循环，多出部分去贮仓，

氢气回到老地方，氯化氢至缓冲仓。淋洗压缩加解吸，过程简单不多讲。

5、提纯（氯硅烷---SIHCL3，SICL4）

氯硅烷来自两方，两股汇集中间仓；送去提纯用的泵，1塔2塔除低沸，

废气处理后排放。高沸3塔来帮忙，三氯氢硅终出场。还有一物务必讲:

四氯化硅要外放，5 6 7塔同功能，详细内容见书上。不忘蒸汽大用量。

提纯钢架高又方，8塔排队头在上，组合安装费思量，吊装维修够地方。

6、H还原（SIHCL3+H2=SI+SIH2CL2+SICL4+HCL+H2）

本工序要出硅棒！关键设备非中方；三氯氢硅前已讲，氢气来源已明朗；

二者混合水汽化，送至炉内硅蕊旁；硅棒不停往大长，合格以后吊车装；

末反应的再循环，热水大泵记心上。变压电控洁净房，到处都是隔离墙！

7、H化（SICL4+H2=SIHCL3+H2S）

四氯化硅来前方，氢气来源已明讲；二者混合水汽化，送至炉内电极旁；

两个炉内起反应，三氯氢硅又出场；末反应的再循环，热水系统不可忘。

8、氯硅烷贮存

氯硅烷是中间商，多种硅贮放地上，不同目的泵发往，建规限量千立方。

9、硅蕊制备

熔炉拉制制硅蕊，硅蕊安放炉中央；酸洗水洗再干燥，制得硅蕊放堆场。

过程废气要处理，分析达标再排放。

10、产品整理

还原制得多晶棒，截断破碎成块状，酸洗水洗再干燥，多晶产品去包装。

过程废气要处理，分析达标再排放。陆海空运上市场，灿灿黄金暖心房！