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迈为股份取得太阳能电池制备装置及系统专利,突破RPD设备产能受限问题

2024年1月18日据国家知识产权局公告,苏州迈为科技股份有限公司取得一项名为“采用RPD和PVD制备异质结太阳能电池的装置及系统“,授权公告号CN220352223U,申请日期为2023年8月。

专利摘要显示,本申请公开了一种采用RPD和PVD制备异质结太阳能电池的装置及系统,属于太阳能电池领域。一种采用RPD和PVD制备异质结太阳能电池的装置,该装置包括用于环境过渡的进端室组、对电池片第一面进行镀膜的第一面镀膜室、对电池片第二面进行镀膜的第二面镀膜室组、用于环境过渡的出端室组以及主控单元;第一面镀膜室包括第一PVD磁控溅射室;第二面镀膜室组包括依次设置的RPD镀膜腔室和第二PVD磁控溅射室,在电池片第二面制备RPD+PVD复合TCO膜;复合TCO膜为PVD膜沉积在RPD膜的远离硅片的一面的层叠式复合膜。本申请可以在保证制备效率、SHJ电池能量转化率的情况下降低制备成本,突破RPD设备产能受限问题。

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