高效、低碳，光伏电池市场一直在前沿技术攻关的目标上追求更高的突破。“从25.26%到25.82%，再到如今的26.30%，隆基在半年之内三度刷新自己创造的HJT电池效率世界纪录，在业内实属罕见。”
高效率太阳能电池进入“微晶-HJT时代”有如下几个显著标志：
1、回归效率主航道，26.30%确定“微晶-HJT ”航向
电池效率26.30%的里程碑式突破，再次为行业发展确定了回归效率提升的主航道。据悉，隆基26.30%的“微晶-HJT ”技术一直致力于可量产工艺，该工艺可导入生产线进行大规模生产，真正体现了“微晶-HJT ”高效可量产的特征。
2、VHF-PECVD推动“微晶-HJT”技术变革
隆基这三次世界纪录的突破最重要的环节均是在PECVD设备环节发生。26.30%的电池主要是在PECVD设备端做了两方面优化和提升：一是优化微晶N窗口层(PECVD设备制备)，FF突破86，电流密度达到40.49mA/cm²；二是开发新的本征层结构(PECVD设备制备)，大幅度改善钝化性能。
据悉，“微晶-HJT”的效率突破，几乎不增加HJT的电池成本，主要得益于VHF-PECVD设备环节的工艺开发，VHF-PECVD在微晶硅薄膜制备过程中，具有离子损伤低、沉积速率高、晶化率高等优势。
3、国产设备助力“微晶-HJT ”取得瞩目成绩
据悉，理想万里晖是隆基半年内三度刷新HJT电池效率世界纪录的PECVD设备供应商，该设备基于量产型VHF-PECVD反应腔，应用可量产的“微晶-HJT”技术，可将目前的HJT电池量产效率提升1.5个点以上。
资料显示，理想万里晖公司开发VHF-PECVD设备超过十年，是一家拥有自主知识产权的国产设备厂商，其PECVD团队累计承担国家科技部863、上海市战略新兴重大产业等多项科研项目。
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